洁净室1到9级的对照表主要根据国际标准ISO 14644-1进行划分,该标准将洁净室分为九个等级,从ISO Class 1(最高)到ISO Class 9(最低)。每个等级根据空气中0.1微米(μm)粒子的数量来划分。以下是具体的对照表:
ISO等级 | 0.1μm粒子最大浓度限值(个/m³) |
---|---|
ISO 1级 | 10 |
ISO 2级 | 100 |
ISO 3级 | 1000 |
ISO 4级 | 10,000 |
ISO 5级 | 100,000 |
ISO 6级 | 1,000,000 |
ISO 7级 | 10,000,000 |
ISO 8级 | 100,000,000 |
ISO 9级 | 1,000,000,000 |
中国的洁净室等级标准与国际标准ISO 14644-1有一定的对应关系:
国内等级 | 0.1μm粒子最大浓度限值(个/m³) |
---|---|
10级 | 237 |
100级 | 2,370 |
1000级 | 23,700 |
10000级 | 237,000 |
100000级 | 2,370,000 |
以上信息提供了洁净室1到9级的详细对照表,适用于了解不同等级的洁净度要求。