粗糙度、几何轮廓、结构分析

3D轮廓测量仪的主要功能可分为测量功能与分析功能两大类，具体如下：

一、测量功能

1. 基础参数测量

   • 测量表面粗糙度、台阶高度、角度等微观形貌特征，分辨率可达亚纳米级；

   • 支持自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化操作，提升测量效率。

2. 多区域与拼接测量

   • 提供自动拼接测量功能，可对大面积工件进行分区域定位测量；

   • 支持多文件批量分析，便于处理复杂工件。

二、分析功能

1. 粗糙度与几何分析

   • 通过滤波、去噪等预处理后，进行粗糙度分析、几何轮廓分析，评估表面平整度；

   • 可提取表面缺陷（如裂纹、孔隙）、磨损痕迹等特征。

2. 结构与功能分析

   • 提供结构分析（如曲率、弯曲变形）、频率分析（如振动特性）及功能分析（如光学性能评估）；

   • 支持一键分析和多文件批量处理，满足科研与工业检测需求。

三、特殊应用功能

• 晶圆与玻璃面板检测 ：可测量晶圆翘曲度、应变及玻璃面板的透明表面形貌；

• 标准参数评估 ：依据ISO/ASME/EUR/GBT等300余种标准，提供2D/3D参数报告。

四、结果输出

测量结果包含三维表面结构（如粗糙度、波纹度）、二维图像分析（如距离、轮廓线）及表界面测量（如薄膜厚度）等多维度信息。

以上功能综合了非接触式光学检测技术，可满足半导体制造、微纳加工、航空航天等领域的精密检测需求。