十级洁净室的标准要求主要围绕空气洁净度、压差控制、温湿度管理等方面,具体如下:
一、空气洁净度标准
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颗粒物限制 :每立方米空气中大于或等于0.5μm的颗粒物不得超过3500个,符合ISO14644-1标准中的Class7级。
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微生物指标 :浮游菌数≤500个/m³,沉降菌数≤10个/培养皿。
二、压差控制
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相邻等级洁净室 :压差应≥5Pa,防止空气逆流。
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洁净区与非洁净区 :压差应≥10Pa。
三、温湿度要求
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温度 :20-26℃。
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湿度 :45-60%RH。
四、其他关键要求
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空气流速 :0.2-0.5米/秒,保证空气流动性和均匀性。
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通风系统 :
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采用上送式循环,配备高效过滤器(≥99.99%过滤效率)。
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设置回风口和排风口,确保空气循环路径合理。
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环境监测 :配备实时监测系统,监控空气洁净度、温湿度等参数。
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布局设计 :
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高洁净度区域靠近空气调节机房。
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易污染设备布置在回风口附近。
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安全与维护 :
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洁净室应维持正压,不同等级之间压差不小于5Pa。
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定期进行设备维护和清洁,确保系统稳定性。
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五、其他注意事项
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地理位置 :选在大气含尘量低、远离污染源的区域。
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建筑要求 :采用防静电材料,墙面、天花板密封性良好,无裂缝。
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人员管理 :进入人员需穿戴专用工作服、鞋套,定期体检并培训。
以上标准需结合具体生产工艺和行业标准综合执行,确保洁净室达到预期的使用要求。